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氦離子色譜儀的出現(xiàn)為氣體行業(yè)提供了重要的檢測手段

更新更新時間:2022-02-28

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  氦離子色譜儀一般配備高純氦氣純化器和氨離子化檢測器(PHDID)。利用純化器使得載氣高純氨純化到雜質(zhì)含量小于10ppb,使得載氣純度達到ppb級雜質(zhì)含量的檢測要求。配備的氨離子化檢測器對基本物質(zhì)的響應(yīng)例如H2、O2、N2等都在5ppb以下,*各種超高純氣體雜質(zhì)含量分析。儀器配置了帶吹掃功能的氣動閥,減少空氣滲透的可能性。針對不同氣體分析有專門設(shè)計的氣路流程,一般一次進樣就能實現(xiàn)所測氣體的全分析。
  軟件工作站方便簡單,能很好的實現(xiàn)色譜儀的自動化。針對毒性大的或者有腐蝕性氣體等,還特別配置了吹掃系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng),以及相應(yīng)的防腐措施,使得分析采樣過程安全可靠。此外該分析儀現(xiàn)也已成為一種常規(guī)的氣體分析方法,它具有線性寬,靈敏度高等優(yōu)點,對于高純氣體樣品的分析和其他檢測器相比,優(yōu)勢相當明顯。經(jīng)過和常規(guī)TCD+FD氣相色譜法比較,對四氟化碳中的雜質(zhì)進行檢測,以期得到對于四氟化碳中雜質(zhì)檢測的方法,并為建立四氟化碳行業(yè)分析標準提供依據(jù)。
  氦離子色譜儀能滿足幾乎所有氣體和電子氣體的雜質(zhì)分析,具有高靈敏度、高線性、高重復(fù)性等特點,*能滿足ppb級的雜質(zhì)分析要求,各種氣體的分析方法給氣體行業(yè)提供了重要的檢測手段和標準依據(jù)。應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
  氦離子色譜儀的相關(guān)知識點就先說到這里了,這款產(chǎn)品還有很多的常識等著各位來發(fā)現(xiàn)與了解,如果您還想要了解更多內(nèi)容,還請先關(guān)注好我們,小編會不定期在此跟大家分享更多的信息。
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